提升 10×
定位精度
下降 35%
停机率
客户与挑战
原有位移反馈分辨率不足，导致晶圆台定位抖动，良率受限。
解决方案
引入高精度线性位移传感器与绝对式编码器，重构闭环控制，并对信号链路做屏蔽优化。
成效
定位精度提升一个数量级，设备节拍稳定，良率显著改善。
{"zh":"某半导体设备厂的精密运动控制升级","en":"Precision motion control upgrade at a semiconductor equipment maker"}
某半导体设备制造商
某半导体设备制造商